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  • 產品名稱：Smart SE- 功能強高性價比橢偏儀江蘇總代

  • 產品型號： Smart SE
  • 產品廠商：HORIBA堀場
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簡單介紹：
Smart SE- 功能強高性價比橢偏儀江蘇總代Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20μm薄膜厚度、光學常數（n, k）以及薄膜結構特性（如粗糙度、光學梯度及各向異性等）。Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺在幾分鐘內對450-1000nm的光譜數據進行采集、建模分析。自動化雙軟件操作平臺，從簡化的工作流程到**研發，滿足不同層次和需求的客戶。
詳情介紹：

Smart SE- 功能強高性價比橢偏儀江蘇總代

Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20μm薄膜厚度、光學常數（n, k）以及薄膜結構特性（如粗糙度、光學梯度及各向異性等）。

Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺在幾分鐘內對450-1000nm的光譜數據進行采集、建模分析。自動化雙軟件操作平臺，從簡化的工作流程到**研發，滿足不同層次和需求的客戶。

Smart SE是一款性價比極高的薄膜研發工具，以經濟實惠的價格提供了研究級的性能。標配一套完整樣品可視化系統，準確定位分析位置及區域，7個不同尺寸的微光斑可用于微區特征分析。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣，用于復雜樣本的研究。

Smart SE配置靈活、具備多角度測量能力，可方便實現在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單、快速、準確表征和分析的工具, 可用于在線原為測試。Smart Se可以滿足各類應用領域，包括微電子，光伏，顯示，光學涂料，表面處理和有機化合物等。

標準配置
光譜范圍： 450nm to 1000nm
光譜分辨率 優于3nm
光源 鹵素燈和藍光LED
測試時間 小于1秒到10秒
光斑尺寸

75μm * 150μm, 100μm * 250μm,

100μm * 500μm, 150μm * 150μm,

250μm * 250μm, 250μm * 500μm,

500μm*500μm

入射角 450 to 900 ，步徑50
樣品尺寸 200mm以內
樣品準直 手動調整樣品臺高度（17mm以內）和傾角
外形尺寸 100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)
scrollable
性能
空氣對射精度 Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
厚度準確性： 0.04%
厚度重復性： ±0.02%
scrollable

 

 

可選附件

  • 全自動量角器，入射角度從450 到900可調，步徑0.010
  • 可通過法蘭耦合在反應腔實現在線監測
  • 冷熱臺
  • 液體樣品池和電化學反應池
  • 十字星自準直系統



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