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產(chǎn)品展示
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１．高精度 ２．操作は簡(jiǎn)単、スタートスイッチを押すだけ ３．水?界面活性剤を使用せず、完全ドライ測定 ４．5mlから50L／分まで測定可能
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１．高精度 ２．操作は簡(jiǎn)単、スタートスイッチを押すだけ ３．水?界面活性剤を使用せず、完全ドライ測定 ４．5mlから50L／分まで測定可能
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中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測?制御であり、流入する???の一時(shí)的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ???系の溫度?圧力情報も出力できるため、???供給系の診斷に*適
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中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測?制御であり、流入する???の一時(shí)的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ???系の溫度?圧力情報も出力できるため、???供給系の診斷に*適
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內の排気圧力コントロール
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內の排気圧力コントロール
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內の排気圧力コントロール
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１．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
