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  • 主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內の排気圧力コントロール
  • 主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內の排気圧力コントロール
  • 主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內の排気圧力コントロール
  • １．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
  • １．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
  • １．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
  • １．加濕ガスの広範囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動(dòng)的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
  • AP250とAP500は半導體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構成されています?！·丹椁送獠郡摔蠄R力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內部圧力を調整し、外郭圧力が任意の設
  • AP250とAP500は半導體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構成されています?！·丹椁送獠郡摔蠄R力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內部圧力を調整し、外郭圧力が任意の設定圧力値と一致するように自動(dòng)制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です?！?大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、*大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です?！R力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相當品または3／4"VCR相當品に対応しています。真空中での使用なら相當品導體用
  • 1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変動(dòng)により圧力変化無(wú) 3.応答速度1秒以?xún)趣胃咚僦朴赡? 4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設計 6.工場(chǎng)オプションにて停電時(shí)圧力保持も可能
  • 1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変動(dòng)により圧力変化無(wú) 3.応答速度1秒以?xún)趣胃咚僦朴赡? 4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設計 6.工場(chǎng)オプションにて停電時(shí)圧力保持も可能
  • 1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変動(dòng)により圧力変化無(wú) 3.応答速度1秒以?xún)趣胃咚僦朴赡? 4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設計 6.工場(chǎng)オプションにて停電時(shí)圧力保持も可能
  • 1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変動(dòng)により圧力変化無(wú) 3.応答速度1秒以?xún)趣胃咚僦朴赡? 4.圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設計 6.工場(chǎng)オプションにて停電時(shí)圧力保持も可能
  • AP160Mは半導體製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開(kāi)度を自動(dòng)制御することによって、配管內の圧力を自動(dòng)調整するコントローラです。圧力センサを內蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無(wú)くすことができるので、1秒程度で設 定圧力に達します。圧力ロ継手は1／4"VCR相當品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導體プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
  • AP150Nは空気や窒素等の不活性ガスを制御対象として、配管內の圧力や流量を制御するのに適したコントローラです。 圧力センサを內蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありませんが、別のセンサを取付け、利用することも可能です。 *大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種類(lèi)があります。AP150Nモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無(wú)くすことができるので、1秒程度で設定圧力に達します。
  • P100N 搭載世界*小壓力設定單元 氣缸等氣壓由1臺控制 一般用壓力控制器 微小流量型AP100N 是一款控制器，適用于控制空氣和氮氣等惰性氣體的內部壓力，如氣缸和相對較小的儲罐，通過(guò)控制兩個(gè)開(kāi)/關(guān)閥的打開(kāi)時(shí)間來(lái)調節壓力。 內置壓力傳感器，無(wú)需向外部添加傳感器，但也可以安裝和使用其他壓力傳感器。 *大控制壓力約為 650kPa，具體取決于連接的氣缸等內部容量，但大約在 0.5 秒內達到設定壓力。

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