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新聞詳情
日本AMAYA株式會社天谷制作所——半導體設備
日期：2025-06-15 07:19
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摘要：
常壓CVD裝置
準備了滿足顧客需求的產品陣容。同時，定做也對應。
＜產品特征＞
對應于半導體制造用、太陽能電池制造用等各種用途
從少量生產到大量生產
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區域可以廣泛成膜
A200V 單片式常壓CVD裝置
AMAX800V
8英寸連續式量產用常壓CVD裝置
...
常壓CVD裝置
準備了滿足顧客需求的產品陣容。同時，定做也對應。
＜產品特征＞
對應于半導體制造用、太陽能電池制造用等各種用途
從少量生產到大量生產
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區域可以廣泛成膜
A200V 單片式常壓CVD裝置
AMAX800V
8英寸連續式量產用常壓CVD裝置
AMAX1200
12英寸連續式量產用常壓CVD裝置
A6300S
小口徑晶圓連續式量產用常壓CVD裝置
定制裝置
D501
間歇式常壓CVD裝置
太陽能電池用裝置
AMAX1000S
125mm/156mm太陽能電池量產用連續式常壓CVD裝置
玻璃基板成膜裝置
對應FPD等剛性/撓性器件的常壓CVD裝置
