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  • 產品名稱：tsubosaka日本壺坂UVL-2輝度箱

  • 產品型號：
  • 產品廠商：TSUBOSAKA壺坂
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簡單介紹：
フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付裝置 卓上型?一體型のため省スペース マイコン搭載により、照射時間を正確に制御
詳情介紹：
型式 UVL-2
光源 超高圧水銀ランプ
放射照度[mW/?] 20
光束 100 x 100 (有効80 x 80)
照度ムラ[± %] 8
露光時間 0.5 - 99.9
試料臺 固定式?平面微調機構付き
試料サイズ[mm x mm] 100 x 100
マスクサイズ[mm x mm] 70 x 70
試料固定 ストッパー突き當て方式
通信I/F RS-232C
電源電圧 AC100V　50/60Hz
消費電力[VA] 700
動作環境 ?溫度 : 5 - 35[℃]
?濕度 : 80[％]以下　但し、結露なきこと
寸法(WxHxD)[mm] 350 x 790 x 350
重量[kg] 30
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