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  • 產品名稱：代理日本MIKASA旋轉涂布機MS-B200

  • 產品型號：
  • 產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹：
旋轉涂布機涂布機.com（Mikasa）的產品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發熱，在連續使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現性也難以受到影響。
詳情介紹：

產品規格

*大電路板尺寸 φ8英寸晶圓或150×150mm基板
轉速（rpm） 20～5,000
旋轉精度 ±1rpm（負載時）
電機 交流伺服電機
蓋 聚碳酸酯
旋轉室內徑 φ360mm
步驟模式數 100 步× 10 模式
時間設置 999.9sec
**聯鎖 真空標準蓋
標準設備
滴落設備 選項
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100～240V　5A
外形尺寸（mm） 500W×335H×583D
重量 28kg

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持選項

<定制類型> >支持<的型號
自動滴落裝置（空氣驅動） 1 臂 ○
2 臂 ○
自動滴落裝置（支架類型）   ○
邊緣沖洗   ○
反向沖洗   ○
排氣管   ○
廢液排放   ○
蓋子限位開關   ○
特氟龍涂層加工   ○
添加電機廢熱風扇   ○
緊急停止開關   ○
大功率電機    

膜厚分布數據

膜厚分布數據

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使用的型號 MS-B200
薄膜厚度測量設備 菲梅特里克斯F50
電阻 OFPR-800LB（東京應化社制）
電路板尺寸 φ8英寸硅晶片
目標厚度 1μm
薄膜厚度分布 ±0.5％
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